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mems传感器即微机电系统 是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米级。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，因此从制造技术本身来讲，MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。微机电系统的优点是：体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等。

在智能化电子产品不断涌现，物联网智能终端与整机产品制造市场稳定发展的带动下，对传感器要求更小型化、智能化、低功耗、高集成度、可大批量产及低成本，MEMS传感器便能解决这一市场需求，在近几年技术和产量都得到了高速的发展。

MEMS传感器已经在我们每天使用的各类设备上数以百万计地使用着。在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用;

在汽车上，MEMS传感器借助气囊碰撞传感器、胎压监测系统(TPMS)和车辆稳定性控制增强车辆的性能;

医疗领域，通过MEMS传感器成功研制出微型胰岛素注射泵，并使心脏搭桥移植和人工细胞组织成为现实中可实际使用的治疗方式;

在可穿戴应用中，MEMS传感器可实现运动追踪、心跳速率测量等;在城市建设领域，MEMS传感器可以协助监测基础设施建设的稳定性，营造充满活力的反馈系统……。MEMS传感器已经被广泛地集成到汽车电子、智能家居、智能电网等物联网应用领域。