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1）MEMS传感器的大批量高精度生产和高可靠性及单价廉价，特别适宜在汽车电控系统中应用；

2）安全气囊中的汽车安全气囊感应器；

3）MEMS汽车微加速度计正替代以往的机电式加速度传感器；

4）MEMS陀螺仪在高端汽车中的应用包括：悬架控制、翻滚；

5）汽车MEMS压力传感器和轮胎气压自动监测系统，MEMS压力传感器适合于任何类型的轮胎，在轮胎胎壁埋设一小块感压力敏芯片，自动测量轮胎气压、温度、转速和其它一些数据，并用特定的代码发送出来；

6）发动机管理系统中的MEMS应用；

7）微机械陀螺是一种振动式角速率传感器，在汽车领域的应用开发倍受关注，主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统；

8）汽车电控燃油喷射系统EFI要使用多重压力MAP传感器，监测发动机进气歧绝对压力，提高其动力性能，降低油耗，减少废气排放；

9）微型硅压阻式MEMS压力传感器可用于发动机废气循环系统，替代陶瓷电容式压力传感器。